設備即時監控系統
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半導體-光罩真空度監控系統
- 現場Layout狀態顯示。
- 可針對各機台設定其Default SPEC Range、 Default SPEC 、Online SPEC Range與Online SPEC。
- Report分析 : CMS History Alarm & Alarm Trend Chart。
- 各機台Default SPEC與Online SPEC 查詢。
- 可透過SECS Alarm主動通知CIM或啟動PLC Interlock。
PCB-鑽孔機稼動率監控系統
- 於監控畫面上顯示各機台狀態、各機台的昨日與即時稼動率。
- 使用者權限管理。
- 可設定修改機台名稱。
- 可設定由系統自動控制機台連線開關或由使用者自行控制。
- 提供後端網頁查詢系統 。
- 網頁查看機台的即時狀態、即時稼動率&昨日稼動率。
- 網頁查看今日/昨日稼動率分析圖表。
- 歷史機況查詢功能,可產出稼動圖表。
- 歷史稼動率紀錄查詢功能,可查詢/匯出稼動率日/月報表。
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